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干式真空泵的特点与应用

编辑:杭州非耀真空设备有限公司  时间:2019-05-06

      干式真空泵使工作容积中无油,因而带来了不少好处。首先,它加强了泵的牢靠性。干式泵不像油密封泵那样遭到水蒸气或者尘粒的影响,因而它们更耐用,所需的维护工作更少。减少用油量还意味着减少了认真处置油而破费的本钱。运用干式真空泵还使可能的污染减到较小水平,这种污染既可能呈现在油里——影响了泵的性能,也可能呈现在某些极端的状况下 


  目前,真空行业运用的大多数干式真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、光滑等多种作用。随着科学技术的开展以及真空应用范畴的扩展,原有的干式真空泵及其组成的抽气系统呈现了两个急需处理问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多状况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护本钱。其次,由于某些工艺过程中的反响物质使真空泵内的介质严重蜕变,使泵不能正常工作。


  关于普通的无油真空系统来说,固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流,但不能彻底处理问题,而且使系统显得复杂。而运用恰当型式的干式真空泵,则能够到达理想的运用效果。


  干式真空泵的应用是普遍的,主要有以下几个方面:


  1)低压化学气相堆积中的多晶硅制备工艺中;


  2)半导体刻蚀工艺。在这些消费工艺中常常用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;


  3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵能够满足请求;


  4)用做普通无油清洁真空系统的前级泵,以避免油污染;


  5)在化学工业、医药工业、食 品工业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等,要避免有机溶剂形成污染,合适用干式真空泵。


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